在半导体制造过程中，除了传统的颗粒物控制，气态分子污染物（AMC）的控制也变得至关重要。AMC包括各种挥发性有机化合物（VOCs）、酸、碱和其他化学蒸气，它们可能来自生产过程中的化学品、溶剂、清洗剂或设备的磨损。这些微小的分子污染物能够对半导体器件的性能产生负面影响，如影响电子迁移率、导致漏电流增加、降低器件的可靠性等。

       基于MOF（金属-有机骨架）的AMC滤料因其独特的结构和性能，成为了解决这一问题的关键技术。MOF材料具有高比表面积、可调节的孔径大小和功能化的表面化学性质，使其能够有效捕获和固定AMC中的分子。这些特性使得MOF滤料在去除气态污染物方面表现出色，能够针对特定的化学蒸气进行定制化设计，从而提高滤除效率。

产品特点：

● 选择性多:可选择性吸附酸性(SO₂、H₂S)、碱性(NH₃)、VOC(甲苯、丙酮、异丙醇等)三大类污染气体。

● 高吸附性能:除酸、除碱气态污染物超级过滤材料吸附性能分别是进口材料吸附性能的的1.7倍和1.4倍。

● 协同去除污染:细颗粒物与AMC协同去除。

● 低浓度 (ppb/ppt级)吸附:芯片制程环境AMC浓度低(ppb/ppt级)时，也可实现性能与节能兼具:实现高过滤效率与低空气阻力，有效降低能耗。

● 工艺简单:生产工艺简单，无异味。

主要性能参数

应用领域

AMC气体污染物超级过滤材料及其过滤器在洁净室中的应用最多，包括半导体、医药、生化防护、军工等领域。